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赵士斌

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金教育部科学技术研究重大项目中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
相关领域：理学更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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