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刘岩

作品数：131 被引量：10H指数：2
供职机构：清华大学研究院更多>>
发文基金：国家自然科学基金深圳市基础研究计划项目国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：电气工程自动化与计算机技术经济管理化学工程更多>>

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清华大学研究院
研究主题：抛光 化学机械抛光 存储介质 基底 抗菌
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