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吴坚

作品数：39 被引量：15H指数：1
供职机构：清华大学研究院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术农业科学医药卫生一般工业技术更多>>

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清华大学研究院
研究主题：抛光 化学机械抛光 存储介质 基底 抗菌
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