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宋宇

作品数：2 被引量：11H指数：2
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

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北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 英文 硅 IEEE
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