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李鹤

作品数:4 被引量:5H指数:2
供职机构:河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金:河北省自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学
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