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邓敏

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

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上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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