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陈曙东

作品数：23 被引量：82H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院战略性先导科技专项江苏省科技支撑计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术农业科学经济管理医药卫生更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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