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邓启平

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

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大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题：化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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