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余超

作品数：3 被引量：19H指数：3
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>

合作作者

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清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：故障诊断 微机电系统 MEMS 传感器 有限元
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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