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席仕伟

作品数：25 被引量：41H指数：4
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 微加速度计 石英 结构层
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姚明秋
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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王旭光
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 键合 超快激光 悬臂梁 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张茜梅
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王亚军
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：折叠波导 折叠波导行波管 太赫兹 行波管 折叠波导慢波结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘娟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程永生
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 仿真 极板 锚点 微加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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