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欧文

作品数：55 被引量：12H指数：2
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地区

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欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱鹤
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：英文 SOI 刻蚀 自对准硅化物 射频
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫建华
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：微透镜阵列 红外焦平面阵列 光敏 填充因子 红外焦平面
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刘战峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衬底 半导体器件 悬臂梁 沟道 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋文静
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 测温电阻 测试设备 反应器 污染
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵超
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王新柱
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：KINK效应 化学机械平坦化 沟槽隔离 微电子 变频器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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