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熊壮

作品数:60 被引量:13H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>

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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许蔚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘显学
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 石英 微机械陀螺 微开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宝林
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 极板 悬臂梁 加速度计 冲击传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈朝阳
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 易加工 加速度计 极板 振梁加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈明山
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 微纳加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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