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邵天奇

作品数:3 被引量:32H指数:3
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室开放课题基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

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任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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李春晓
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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朱钧
供职机构:清华大学
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王小宁
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:溶胶-凝胶法 DRAM BST薄膜 刻蚀 动态随机存取存储器
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赵宏锦
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:硅基 氮化铝薄膜 刻蚀 直流磁控反应溅射 ALN薄膜
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刘建设
供职机构:清华大学
研究主题:超导 超导转变 量子计算 超导量子比特 量子效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏朝刚
供职机构:清华大学
研究主题:铁电电容 铁电存储器 集成电路设计 电路仿真 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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