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邵天奇
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3
被引量:32
H指数:3
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室开放课题基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
任天令
清华大学信息科学技术学院微电子...
李春晓
清华大学信息科学技术学院微电子...
朱钧
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
王小宁
清华大学信息科学技术学院微电子...
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任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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李春晓
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:氮化物 高介电常数材料 铁电体 硅基PZT 矫顽场
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朱钧
供职机构:清华大学
研究主题:自由曲面 发光二极管 反射镜 电极 基底
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王小宁
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:溶胶-凝胶法 DRAM BST薄膜 刻蚀 动态随机存取存储器
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赵宏锦
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:硅基 氮化铝薄膜 刻蚀 直流磁控反应溅射 ALN薄膜
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刘建设
供职机构:清华大学
研究主题:超导 超导转变 量子计算 超导量子比特 量子效率
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魏朝刚
供职机构:清华大学
研究主题:铁电电容 铁电存储器 集成电路设计 电路仿真 铁电薄膜
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