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张天冲

作品数：31 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程金属学及工艺理学一般工业技术更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

  • 8个中国科学院
  • 1个北京工业大学
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资助

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传媒

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地区

  • 8个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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王波
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：光刻胶 氯化铯 套刻 硅 硅表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘静
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：氯化铯 硅表面 光刻胶 硅 套刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张新帅
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：光刻胶 氯化铯 离子束刻蚀 显影 微结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王雨婷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：硅 光刻胶 高宽比 氯化铯 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李延春
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：高温高压 X射线衍射 相变 衍射 金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾全杰
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：硅晶体 半导体 Δ掺杂 X射线衍射 掠入射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王焕华
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：晶体管技术 晶体管 电子学 三极管 钛酸锶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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