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徐海滨

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

领域

  • 8个电子电信
  • 7个自动化与计算...
  • 6个金属学及工艺
  • 6个文化科学
  • 5个电气工程
  • 5个交通运输工程
  • 4个化学工程
  • 4个机械工程
  • 4个建筑科学
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  • 4个一般工业技术
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  • 3个医药卫生
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  • 2个石油与天然气...
  • 2个航空宇航科学...
  • 1个经济管理
  • 1个生物学

主题

  • 11个晶圆
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  • 9个装载装置
  • 9个组件
  • 7个修整器
  • 6个修整
  • 6个扭矩
  • 6个可旋转
  • 5个运动控制
  • 5个运动控制器
  • 5个手爪
  • 5个竖直
  • 5个伺服
  • 5个伺服驱动
  • 5个伺服驱动器
  • 4个氮化
  • 4个弹性环
  • 4个挡板
  • 4个药剂
  • 4个兆声清洗

机构

  • 11个清华大学
  • 2个吉林大学
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  • 1个东南大学
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  • 1个中国科学院金...
  • 1个青华大学
  • 1个清华大学研究...

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 4个中国博士后科...
  • 4个国家科技重大...
  • 4个创新研究群体...
  • 4个国家重点实验...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个教育部跨世纪...
  • 3个国家杰出青年...
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  • 1个河南省教育厅...
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  • 1个“十一五”国...
  • 1个北京市教委重...
  • 1个国际科技合作...

传媒

  • 4个机械工程学报
  • 4个摩擦学学报（...
  • 3个科学通报
  • 3个清华大学学报...
  • 3个中国机械工程
  • 3个华中科技大学...
  • 3个润滑与密封
  • 3个中国表面工程
  • 3个中国基础科学
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个材料研究学报
  • 2个压电与声光
  • 2个自然科学进展...
  • 2个数字制造科学
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  • 1个振动．测试与...
  • 1个振动工程学报
  • 1个光学精密工程
  • 1个农业工程学报
  • 1个昆虫学报

地区

  • 11个北京市
共 11 条 记 录，以下是 1-10
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许振杰
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 机械手 抛光液 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴召辉
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭振宇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 干燥装置 组件 装载装置 刷洗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张莉瑶
供职机构：清华大学
研究主题：干燥装置 晶圆 组件 装载装置 刷洗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周顺
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 缸体 活塞杆 扭矩 机器人系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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