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殷华湘
作品数:
738
被引量:17
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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电子电信
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理学
核科学技术
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合作作者
张青竹
中国科学院微电子研究所
秦长亮
中国科学院微电子研究所
赵超
清华大学
朱慧珑
清华大学
李俊峰
清华大学
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张青竹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 叠层 纳米片 纳米线
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秦长亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 栅极 沟道 鳍片 侧墙
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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朱慧珑
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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王桂磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 衬底 载流子迁移率 栅极
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许高博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
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