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蒋文静
作品数:
10
被引量:6
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
欧文
中国科学院微电子研究所
刘战峰
中国科学院微电子研究所
周静涛
中国科学院微电子研究所
李志刚
中国科学院微电子研究所
欧文
江苏物联网研究发展中心
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欧文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:悬臂梁 刻蚀 衬底 红外吸收 硅
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刘战峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 半导体器件 悬臂梁 沟道 刻蚀
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周静涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:肖特基二极管 硅基 太赫兹 垂直腔面发射激光器 刻蚀
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李志刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
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欧毅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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黄卓磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:读出电路 二极管 红外探测器 低失调 低噪声
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王玮冰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 红外光源 压阻 压阻传感器
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欧文
供职机构:中北大学
研究主题:热电堆 MEMS 快闪存储器 英文 红外
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刘鹏
供职机构:中国科学院力学研究所
研究主题:微重力 气泡 池沸腾 分离流 传热
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明安杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
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