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尚海平: 作品数：53 被引量：2H指数：1; 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>; 相关领域：自动化与计算机技术电子电信化学工程更多>>

合作作者

陈大鹏中国科学院微电子研究所
王玮冰中国科学院微电子研究所
刘瑞文中国科学院微电子研究所
焦斌斌中国科学院微电子研究所
李志刚中国科学院微电子研究所

作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域

领域

12个电子电信
12个自动化与计算...
10个一般工业技术
10个理学
8个机械工程
7个化学工程
7个金属学及工艺
6个电气工程
6个文化科学
4个建筑科学
3个经济管理
3个环境科学与工...
3个医药卫生
2个轻工技术与工...
2个交通运输工程
2个核科学技术
1个生物学
1个天文地球
1个农业科学
1个政治法律

主题

12个电路
12个电阻
10个电压
10个形变
9个氮化硅
9个淀积
8个氮化硅薄膜
8个导体
8个电极
8个电学
8个电子器件
8个调制
7个氮化
7个导电
7个电极接触
7个读出电路
7个压阻
6个单晶
6个单晶硅
5个电荷

机构

14个中国科学院微...
3个清华大学
3个中国科学院
3个中国科学技术...
2个北京大学
2个中国科学院微...
2个中国科学院大...
2个江苏物联网研...
1个北京理工大学
1个浙江大学
1个中北大学
1个中国科学院重...
1个杭州中科微电...
1个昆山光微电子...
1个华进半导体封...

资助

10个国家高技术研...
10个国家自然科学...
8个国家重点基础...
4个国家科技重大...
3个江苏省自然科...
3个中国科学院知...
2个国家科技攻关...
2个中国博士后科...
2个“九五”国家...
2个国家教育部博...
2个中国科学院西...
2个中国科学院战...
2个中国科学院知...
2个中央高校基本...
2个重庆市科技攻...
1个北京市科技新...
1个山西省自然科...
1个浙江省科技攻...
1个浙江省重大科...
1个黑龙江省教育...

传媒

11个微纳电子技术
8个Journa...
8个电子工业专用...
6个半导体技术
6个物理学报
6个红外与毫米波...
6个微电子学与计...
6个微电子学
6个第十二届全国...
5个红外与激光工...
4个光子学报
4个功能材料
4个光电工程
3个哈尔滨工业大...
3个实验力学
3个光学学报
3个红外技术
3个仪表技术与传...
3个传感技术学报
3个电子器件

地区

14个北京市

共 14 条记录，以下是 1-10

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陈大鹏: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：半导体器件刻蚀 MEMS 沟道焦平面阵列; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

王玮冰: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：MEMS 自测试红外光源压阻压阻传感器; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

刘瑞文: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：芯片非制冷红外成像平面阵列红外成像散热; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

焦斌斌: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：平面阵列非制冷红外成像焦平面阵列芯片红外成像; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

李志刚: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：金属冗余淀积集成电路版图版图设计; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

王英辉: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：键合衬底压阻压力传感器半导体器件; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

高超群: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：气敏传感器红外光非制冷红外成像谱式二氧化碳; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

叶甜春: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：X射线光刻沟道半导体器件版图衬底; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

徐秋霞: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：金属栅半导体器件刻蚀沟道堆叠; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

傅剑宇: 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：探测器刻蚀硅基悬臂梁衬底; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

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