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刘瑞文

作品数:68 被引量:9H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信一般工业技术建筑科学更多>>

文献类型

  • 60篇专利
  • 8篇期刊文章

领域

  • 16篇自动化与计算...
  • 9篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇建筑科学

主题

  • 15篇红外
  • 14篇散热
  • 14篇芯片
  • 11篇面阵
  • 10篇微细加工
  • 9篇非制冷
  • 9篇衬底
  • 8篇阵列
  • 8篇平面阵
  • 8篇平面阵列
  • 8篇红外成像
  • 8篇非制冷红外
  • 8篇非制冷红外成...
  • 7篇封装
  • 6篇压应力
  • 6篇应力
  • 6篇散热技术
  • 6篇梁单元
  • 6篇键合
  • 6篇硅衬底

机构

  • 68篇中国科学院微...
  • 4篇中国科学院大...
  • 3篇昆山光微电子...
  • 2篇东北电力大学
  • 1篇北京工业大学
  • 1篇湖北大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇西交利物浦大...
  • 1篇无锡物联网创...

作者

  • 68篇刘瑞文
  • 63篇焦斌斌
  • 41篇陈大鹏
  • 33篇孔延梅
  • 21篇叶雨欣
  • 19篇尚海平
  • 16篇李志刚
  • 9篇叶甜春
  • 9篇高超群
  • 5篇傅剑宇
  • 4篇王玮冰
  • 3篇侯影
  • 2篇张乐民
  • 1篇曹志勇
  • 1篇欧毅
  • 1篇张强
  • 1篇张强
  • 1篇孙灵芳
  • 1篇王如志
  • 1篇薛惠琼

传媒

  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇制造业自动化
  • 1篇物理学报
  • 1篇红外与毫米波...
  • 1篇微电子学与计...
  • 1篇功能材料
  • 1篇科学技术与工...

年份

  • 3篇2024
  • 11篇2023
  • 10篇2022
  • 3篇2021
  • 3篇2020
  • 1篇2019
  • 5篇2018
  • 6篇2016
  • 3篇2015
  • 9篇2014
  • 11篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
68 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种多芯片散热的匀温控制系统及其制备方法
本发明公开一种多芯片散热的匀温控制系统及其制备方法,涉及微电子散热技术领域。所述多芯片散热的匀温控制系统包括:散热结构、可控主动散热模块、多芯片、温度传感单元和外围电路控制模块;所述温度传感单元,用于获取所述多芯片的实时...
孔延梅从波焦斌斌刘瑞文贾昆鹏
一种芯片散热封装结构和电子设备
本发明提供了一种芯片散热封装结构和电子设备,涉及散热技术领域,以解决热量传输路径较长,导致传热热阻较大,降低芯片散热效率,影响芯片工作性能的问题。该芯片散热封装结构包括组装后具有容纳空间的第一承载件和封装壳体。芯片第一面...
孔延梅王杰焦斌斌刘瑞文叶雨欣
一种集成电路元器件的工艺方法
本发明提供了一种集成电路元器件的工艺方法,包括:利用第一晶圆制作第一掺杂类型金属氧化物半导体场效应MOS器件,利用第二晶圆制作第二掺杂类型MOS器件;引出第一掺杂类型MOS器件的源极、漏极及栅极的引线;利用2M工艺纵向引...
陈大鹏焦斌斌孔延梅刘瑞文云世昌
带有热沉结构的光读出全镂空焦平面阵列及其制造方法
一种带有热沉结构的光读出全镂空焦平面阵列及其制造方法,所述阵列的每个像元包括一个框架以及框架内的反光板等其他部件,每个像元框架上方包括由厚金属薄膜构成的热沉结构。热沉结构使得整个薄膜区域热导增加,能量传导加快,薄膜区域温...
刘瑞文焦斌斌陈大鹏
文献传递
一种热电堆红外探测器
一种热电堆红外探测器,包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层,以及形成于钝化层之上的反射层,以及通过牺牲层释放技术形成的第二红外吸收层。所述探测器提高了红外吸收率,并使热电偶对冷端与热端的温度差增大...
刘瑞文焦斌斌陈大鹏
一种新型微流热电散热器及其制造方法和散热方法
本发明提供了一种新型微流热电散热器及其制造方法和散热方法。本发明的新型微流热电散热器的制造方法,包括如下步骤:S1:制作帕尔贴元件;S2:制作微流道散热器;S3:将微流道散热器与帕尔贴元件冷端键合。本发明的新型微流热电散...
焦斌斌刘子煜孔延梅叶雨欣刘瑞文杜向斌
一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器
本发明实施例提供一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器,包括透明衬底(1)以及以非嵌套的方式平铺在所述透明衬底(1)上的多个微悬臂梁单元(2);所述透明衬底(1)对与所述非制冷红外成像焦平面阵列探测器相配套的读出光路的光线透...
高超群焦斌斌刘瑞文尚海平陈大鹏叶甜春
文献传递
一种阻止金属共晶键合合金外溢的方法及一种器件
本发明公开了一种阻止金属共晶键合合金外溢的方法,先在第一器件结构的器件衬底上制作第一键合金属图形,然后基于第一键合金属图形制作器件保护结构;器件保护结构包括第一槽型腔体,第一槽型腔体的底面为第一键合金属图形;然后在第二器...
云世昌焦斌斌张乐民孔延梅刘瑞文陈大鹏
文献传递
应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法
公开了一种应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法。一示例方法可以包括:利用第一淀积菜单,淀积第一材料的第一子层;利用与第一淀积菜单不同的第二淀积菜单,淀积第一材料的第二子层,其中第一子层和第二子层相邻设置构成第一材料层;以及淀...
焦斌斌刘瑞文李志刚孔延梅陈大鹏
文献传递
一种二极管型红外热探测器热学参数的电学等效测试方法
2019年
红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间,反应了结构信息和器件性能。精确有效地获得这些参数,对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义。二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一。基于二极管型红外热探测器的自热效应,提出了一种热学参数的电学等效测试方法,具有测量精度高且实现简单的特点。并对自制的一款二极管型红外焦平面阵列像元进行了测试,测试结果与理论分析相符,验证了方法的可行性。
刘超侯影傅剑宇傅剑宇魏德波刘瑞文
关键词:红外热探测器二极管热学参数
共7页<1234567>
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