2024年7月10日
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张生果
作品数:
4
被引量:8
H指数:2
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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发文基金:
国家重点实验室开放基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
陈恳
清华大学机械工程学院精密仪器与...
杨开明
清华大学机械工程学院精密仪器与...
张鸣
清华大学机械工程学院精密仪器与...
尹文生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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陈恳
供职机构:清华大学
研究主题:机器人 仿人机器人 喷涂机器人 激光跟踪仪 飞行器
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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