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李燕玲

作品数：5 被引量：8H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
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张雅丽
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：硅晶圆 激光划片 划片 砂轮
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刘洋
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：粘片机 钢带传动 欧拉公式 张紧力 卡槽
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王文丽
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：超声波 硅片 清洗工艺 湿法清洗 声波
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童志义
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：光学光刻 集成电路 光刻 硅 CMP
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韦薇
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：步进电机驱动器 步进电机 混合式 驱动器 程序控制
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于高洋
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：选择性 二氧化铈 化学机械抛光 浅沟道隔离 抛光液
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高爱梅
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：激光划片 划片 蓝宝石 单晶硅 紫外激光
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