2025年1月22日
星期三
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武晓玲
作品数:
8
被引量:20
H指数:3
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
天津市自然科学基金
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相关领域:
电子电信
冶金工程
一般工业技术
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
贾英茜
河北工业大学信息工程学院微电子...
张伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘承霖
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘长宇
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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所获资助
研究领域
张伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:卫星电源 太阳电池阵 化学机械抛光 CMP 空间电源
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贾英茜
供职机构:石家庄学院
研究主题:化学机械抛光 抛光液 钨 MEMS CMP
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所获资助
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刘承霖
供职机构:河北工业大学
研究主题:硅溶胶 粗糙度 INSB 锑 化学机械抛光
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供职机构
所获资助
研究领域
刘长宇
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 ULSI CMP 硬盘
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
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贾小欣
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 工艺参 化学机械抛光 铌酸锂 去除率
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鲍云英
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:铯 化学机械抛光 有机溶剂
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孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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