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耿阳
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复旦大学
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合作作者
卢红亮
复旦大学
张卫
复旦大学
孙清清
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杨雯
复旦大学
张远
复旦大学
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卢红亮
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 电极 晶体管 存储器 隧穿
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孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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杨雯
供职机构:复旦大学
研究主题:半导体集成电路 扩散阻挡层 淀积 铜 阻挡层
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林崴
供职机构:复旦大学
研究主题:硅纳米晶 光学常数 尺寸可控 禁带宽度 测量过程
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陈良尧
供职机构:复旦大学
研究主题:光学性质 光学常数 椭圆偏振 椭圆偏振光谱 磁光克尔效应
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郑玉祥
供职机构:复旦大学
研究主题:光学常数 光学性质 椭圆偏振 椭圆偏振光谱 阵列探测器
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王鹏飞
供职机构:复旦大学
研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
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张远
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研究主题:扩散阻挡层 铜互连 粘附性能 粘附能力 原子层沉积
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张帆
供职机构:复旦大学
研究主题:财务管理 催化剂 测量方法 丙烷脱氢制丙烯 椭偏仪
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