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谭刚

作品数：32 被引量：29H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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吴嘉丽
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
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李仁锋
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 低压化学气相淀积 LPCVD
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席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐海林
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：太赫兹 微陀螺 微机械陀螺 固有频率 仪器仪表技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈朝阳
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 石英 易加工 超快激光 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚明秋
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
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李玉萍
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 锚点 微加速度传感器 热压键合 全金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程永生
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 仿真 极板 锚点 微加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王旭光
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 键合 超快激光 悬臂梁 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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