2025年1月25日
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刘祖韬
作品数:
14
被引量:14
H指数:2
供职机构:
东南大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
黄庆安
教育部
李伟华
东南大学电子科学与工程学院微电...
李巧萍
东南大学电子科学与工程学院微电...
姜岩峰
东南大学电子科学与工程学院微电...
聂萌
东南大学电子科学与工程学院微电...
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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李巧萍
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS薄膜 MEMS 数据采集 多晶硅薄膜 系统设计
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姜岩峰
供职机构:北京自动测试技术研究所
研究主题:各向异性腐蚀 硅 集成电路 JTAG MEMS
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聂萌
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 压阻式压力传感器 原位 灵敏度 高灵敏度
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