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孙宝银

作品数：10 被引量：15H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技部专项基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

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地区

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共 19 条 记 录，以下是 1-10
陈梦真
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 光刻 掩模 光刻胶 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵玲莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：LPCVD X射线光刻 氮化硅 氮化硅薄膜 可见光发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱樟震
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：X射线光刻 光刻胶 光刻 X射线掩模 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石万全
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：硅 离子注入 氮化硅 LPCVD 氮化硅薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘渝珍
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：光致发光 快速退火 LPCVD RTA 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩一琴
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：多晶硅薄膜 微晶硅薄膜 热丝 热丝化学气相沉积 LPCVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘世祥
供职机构：中国科学技术大学研究生院
研究主题：LPCVD 氮化硅薄膜 氮化硅 可见光发射 室温
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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