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张大成

作品数：242 被引量：425H指数：10
供职机构：北京大学更多>>
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李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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王玮
供职机构：北京大学
研究主题：单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 键合
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田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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杨芳
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
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罗葵
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘鹏
供职机构：北京大学
研究主题：艺术博物馆 前驱物 衬底 气相外延 MEMS器件
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王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何军
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS器件 刻蚀 成品率 芯片尺寸 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王颖
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 梁结构 访谈录 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵丹淇
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS器件 牺牲层 成品率 单片集成 刻蚀
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