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王文东
作品数:
64
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H指数:3
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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国家科技重大专项
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
金属学及工艺
理学
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合作作者
夏洋
中国科学院微电子研究所
李勇滔
中国科学院微电子研究所
刘邦武
中国科学院微电子研究所
邵花
中国科学院微电子研究所
闫坤坤
中国科学院微电子研究所
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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刘邦武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
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邵花
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子喷涂 杂色
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闫坤坤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硼 大气等离子喷涂 喷涂制备 等离子体喷涂 等离子喷涂设备
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李英杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:射频电源 射频 功率放大电路 功率检测器 供电线路
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研究领域
李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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罗小晨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
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相关人物
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
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赵嵩卿
供职机构:中国石油大学(北京)
研究主题:脉冲激光沉积 光探测器 电压测试 探测器 光生
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