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王旭光

作品数：17 被引量：20H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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相关领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>

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沈朝阳
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 石英 易加工 超快激光 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚明秋
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑英彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 太赫兹 滤波器 叉指换能器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宝林
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：冲击传感器 极板 超快激光 压电式 悬臂梁
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张照云
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 刻蚀 加速度计 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊壮
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 加速度计 极板 惯性开关 易加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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