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沈朝阳

作品数：11 被引量：1H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 7篇加速度
  • 4篇石英
  • 4篇极板
  • 4篇加速度计
  • 4篇封装
  • 3篇悬臂
  • 3篇悬臂梁
  • 3篇易加工
  • 3篇真空封装
  • 3篇振梁加速度计
  • 3篇熔石英
  • 3篇速度传感器
  • 3篇全金属
  • 3篇热压键合
  • 3篇微加工
  • 3篇微加工技术
  • 3篇微加速度传感...
  • 3篇锚点
  • 3篇刻蚀
  • 3篇激光

机构

  • 11篇中国工程物理...

作者

  • 11篇沈朝阳
  • 8篇王旭光
  • 7篇熊壮
  • 7篇张照云
  • 5篇唐彬
  • 4篇姚明秋
  • 4篇赵宝林
  • 3篇席仕伟
  • 3篇李玉萍
  • 3篇谭刚
  • 3篇刘显学
  • 3篇彭勃
  • 3篇苏伟
  • 3篇程永生
  • 3篇屈明山
  • 3篇许蔚
  • 2篇李枚
  • 2篇杨杰
  • 1篇谢国芬
  • 1篇陈光焱

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 4篇2023
  • 3篇2019
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一体式石英双振梁加速度计
本实用新型公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；振梁包括第一直梁及第二直梁，第一直梁及第二直梁并列设置，...
张照云刘显学李枚屈明山沈朝阳许蔚彭勃熊壮苏伟
文献传递
一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法
本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域，本发明公开一种熔石英悬臂梁‑质量块结构及其加工方法。加工方法包括以下步骤：根据悬臂梁‑质量块结构的图形，采用超快激光切割加工熔石英基片，在熔石英基片上形成上下贯穿的切割通道；清洗熔...
张照云沈朝阳王颉熊壮赵宝林刘振华王旭光屈明山郭建宏魏云川
一体式石英双振梁加速度计及制备方法
本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于...
张照云唐彬刘显学苏伟高彩云沈朝阳熊壮许蔚彭勃
文献传递
一种全金属电容极板微加速度传感器
本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏...
唐彬席仕伟姚明秋程永生李玉萍王旭光沈朝阳谭刚
文献传递
一体式石英双振梁加速度计
本实用新型的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于挠性梁...
张照云唐彬刘显学苏伟高彩云沈朝阳熊壮许蔚彭勃
文献传递
一种石英摆片结构及其加工方法
本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域，公开了一种石英摆片结构及其加工方法。该石英摆片结构包括悬臂梁、质量块、边框以及多个凸台。加工方法包括以下步骤：先湿法刻蚀多个凸台以外的区域的熔石英基片形成多个凸台；其次，根据石英摆...
张照云赵宝林李枚王支荣熊壮王颉沈朝阳刘振华王旭光郭建宏魏云川
一种全金属电容极板微加速度传感器
本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏...
唐彬席仕伟姚明秋程永生李玉萍王旭光沈朝阳谭刚
文献传递
一种石英微加速度计
本申请提供一种石英微加速度计，包括两个边极板和中间极板，边极板上设置有边部键合区、电容区和边部电气隔离区以及电容引线密封区；中间极板设置于两个边极板之间；中间极板上设置有中间键合区、质量块、挠性梁、中间电极引线区、边部电...
张照云谢国芬赵宝林陈俊黄健树王斌沈朝阳熊壮杨杰谢晋王颉屈名山刘振华王旭光
一种熔石英悬臂梁-质量块结构及其加工方法
本发明涉及微电子机械系统微加工技术领域，本发明公开一种熔石英悬臂梁‑质量块结构及其加工方法。加工方法包括以下步骤：根据悬臂梁‑质量块结构的图形，采用超快激光切割加工熔石英基片，在熔石英基片上形成上下贯穿的切割通道；清洗熔...
张照云沈朝阳王颉熊壮赵宝林刘振华王旭光屈明山郭建宏魏云川
热处理对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响(英文)被引量：1
2015年
通过射频磁控溅射在氧化硅片表面沉积ZnO/Au薄膜,并通过不同的热处理方式对薄膜进行退火。为了研究退火对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响,采用X射线衍射分析(XRD)、光学显微镜、场发射扫面电镜(FESEM)和压电力分析仪对薄膜退火前后的材料特性进行了分析。研究发现,热处理能够改善ZnO/Au薄膜的结晶质量。特别是在氮气保护氛围下慢速退火后,薄膜结晶质量有明显改善。但是,热处理导致了薄膜的压电系数d33和d31降低。分析认为,热处理过程中Au原子在ZnO中的易迁移特性破坏了ZnO/Au薄膜的压电性能。
杨杰陈光焱王旭光沈朝阳姚明秋
关键词：压电特性结构特性退火
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