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姚明秋

作品数：19 被引量：13H指数：2
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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唐彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 加速度计 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
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王旭光
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 键合 超快激光 悬臂梁 锚点
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苏伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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沈朝阳
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 石英 易加工 超快激光 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李玉萍
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：极板 锚点 微加速度传感器 热压键合 全金属
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程永生
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 仿真 极板 锚点 微加速度传感器
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孙远程
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
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谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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