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宓斌玮

作品数：8 被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 19 条 记 录，以下是 1-10
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
颜培力
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS器件 保护环 孤岛 基板 扩展性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张颖
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐高卫
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片级 封装结构 子层 湿法腐蚀 电镀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘文俊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS器件 保护环 孤岛 基板 扩展性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱清
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王育才
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：悬臂梁 块结构 各向异性腐蚀 微加速度计 微机械加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金鹏
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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