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徐永青

作品数：61 被引量：92H指数：6
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发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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共 26 条 记 录，以下是 1-10
杨拥军
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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胥超
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：电极 微电子机械系统 划片 圆片级封装 共晶
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何洪涛
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗蓉
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 硅 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕树海
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 微机械传感器 角速率 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海军
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：可变光衰减器 微机械 MEMS 波分复用 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐爱东
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 硅 角速率 速率传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁春广
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：微机械 光开关 砷化镓 GAAS 场效应晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨志
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：硅基 谐振器 衬底 MEMS 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑七龙
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 可变光衰减器 微机械 波分复用 铝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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