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李仁锋

作品数：18 被引量：30H指数：3
供职机构：中国工程物理研究院更多>>
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共 15 条 记 录，以下是 1-10
吴嘉丽
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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张晓升
供职机构：电子科技大学
研究主题：谐振器 微系统 供能 电极 传感
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
文贵印
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：MEMS 设计技术 稳定性 超声波电机 大量程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜亦佳
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：电极 行波 射频通信 微马达 移相器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍景富
供职机构：电子科技大学
研究主题：谐振器 电极 相位噪声 射频通信 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程永生
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：可靠性 仿真 证据理论 固有频率 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李红
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：LPCVD 多晶硅薄膜 多晶硅 低压化学气相淀积 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁明权
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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