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李兆泽

作品数：15 被引量：77H指数：6
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐超
供职机构：国防科学技术大学
研究主题：改性层 光顺 NIP MEMS 微推进器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李圣怡
供职机构：国防科学技术大学
研究主题：超精密 离子束 光学镜面 面形误差 光学零件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴一帆
供职机构：国防科学技术大学
研究主题：面形误差 磁流变抛光 离子束 光学零件 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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