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李素兰
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北京大学
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电子电信
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合作作者
张国炳
北京大学
王煜
北京大学
田大宇
北京大学
张海霞
北京大学
郝一龙
北京大学
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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王煜
供职机构:北京大学
研究主题:应力控制 MEMS SIC 抗腐蚀 离子注入
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张国炳
供职机构:北京大学
研究主题:硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
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张海霞
供职机构:北京大学
研究主题:发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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陈晟
供职机构:北京大学
研究主题:反应离子刻蚀 功率 氢含量 压强 PECVD
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李志宏
供职机构:北京大学
研究主题:电极 微针 针尖 微机电系统 芯片
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郭辉
供职机构:北京大学
研究主题:微机电系统 测地线 MEMS TEICHMULLER空间 可积
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边伟
供职机构:北京大学
研究主题:场效应器件 背栅 多晶硅栅 金属诱导 纳米集成电路
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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