2025年1月25日
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李飞
作品数:
23
被引量:11
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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机械工程
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合作作者
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
潘丽
中国科学院光电技术研究所
邱传凯
中国科学院光电技术研究所
岳衢
中国科学院光电技术研究所
杨欢
中国科学院光电技术研究所
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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研究领域
潘丽
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 湿法腐蚀 微透镜列阵 微透镜阵列 干法刻蚀
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供职机构
所获资助
研究领域
邱传凯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:变形镜 微透镜列阵 掩模 微透镜阵列 光学系统
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岳衢
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:绝缘硅 湿法腐蚀 微透镜阵列 干法刻蚀 长焦
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杨欢
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 衍射 局域 金属纳米 微透镜阵列
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杜春雷
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
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李国俊
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:微透镜阵列 衍射 干法刻蚀 绝缘硅 填充因子
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供职机构
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周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
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胡承刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:湿法腐蚀 光刻 压模 表面等离子体 衍射
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张铁军
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:绝缘硅 湿法腐蚀 透射特性 变形镜 大行程
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