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段广洪

作品数：367 被引量：1,777H指数：23
供职机构：清华大学深圳研究生院更多>>
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汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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向东
供职机构：清华大学
研究主题：测试向量 自适应路由 扫描链 无死锁 路由方法
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朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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牟鹏
供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题：喷嘴 元器件 显影液 废品回收 拆解
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刘学平
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：喷嘴 显影 流道 显影液 基台
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杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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