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袁伟
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供职机构:
上海集成电路研发中心
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
李铭
上海集成电路研发中心
卢意飞
上海集成电路研发中心
李琛
上海集成电路研发中心
郭奥
上海集成电路研发中心
赵宇航
上海集成电路研发中心
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李铭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
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卢意飞
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:通孔 介质层 光刻 晶圆 量测数据
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胡红梅
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:光刻胶 光刻 旁瓣 图形化 光刻工艺
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郭奥
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:漏极 晶体管 源极 阵列结构 存储器单元
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李琛
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:图像传感器 CMOS图像传感器 像素 图像 感光
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赵宇航
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:图像传感器 像元 光敏元件 CMOS影像传感器 CMOS图像传感器
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相关人物
供职机构
所获资助
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陈寿面
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:晶体管 光刻 像元 电极 图像
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