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谢正和

作品数：22 被引量：15H指数：1
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严大洲
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 还原炉 氯硅烷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤传斌
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷
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汪绍芬
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 还原炉 底盘 进气系统 排气系统
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杜俊平
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：四氯化硅 多晶硅 氯化氢 纳米级二氧化硅 三氯氢硅
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肖荣晖
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷
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郭富东
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：四氯化硅 多晶硅 纳米级二氧化硅 氯化氢 脱酸
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毋克力
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 氯化氢 还原炉
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谢冬晖
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：四氯化硅 多晶硅 纳米级二氧化硅 氯化氢 脱酸
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