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李志刚

作品数：85 被引量：34H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈岚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
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叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阮文彪
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：冗余 版图 集成电路版图 金属 版图设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙世兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦斌斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
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刘瑞文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：芯片 非制冷红外成像 平面阵列 红外成像 散热
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尚海平
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：压力传感器 压阻 非制冷红外成像 平面阵列 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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