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洪姣

作品数:10 被引量:15H指数:3
供职机构:河北工业大学更多>>
发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

领域

  • 23个电子电信
  • 17个金属学及工艺
  • 11个化学工程
  • 11个自动化与计算...
  • 9个理学
  • 8个一般工业技术
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主题

  • 23个抛光液
  • 23个化学机械抛光
  • 23个机械抛光
  • 23个CMP
  • 22个抛光
  • 21个活性剂
  • 20个粗糙度
  • 19个去除速率
  • 19个螯合剂
  • 19个碱性抛光液
  • 18个磨料
  • 18个
  • 17个铜布线
  • 17个平坦化
  • 16个阻挡层
  • 16个碱性
  • 15个电路
  • 15个抛光速率
  • 15个离子
  • 14个络合剂

机构

  • 24个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个天津理工大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个中芯国际集成...
  • 1个杭州西湖房地...
  • 1个天津冶金职业...

资助

  • 23个国家中长期科...
  • 22个河北省自然科...
  • 16个国家自然科学...
  • 16个河北省教育厅...
  • 15个国家科技重大...
  • 13个天津市自然科...
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  • 2个河北省科技厅...
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  • 2个天津市科技攻...
  • 1个高等学校骨干...

传媒

  • 23个微纳电子技术
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  • 10个功能材料
  • 10个微电子学
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  • 4个硅酸盐学报
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  • 3个微细加工技术
  • 3个化工中间体
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地区

  • 20个天津市
  • 4个河北省
24 条 记 录,以下是 1-10
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宝红
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐继英
供职机构:河北工业大学
研究主题:ARM BOOTLOADER UCLINUX S3C44B0 S3C4480
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李月
供职机构:河北工业大学
研究主题:碱性抛光液 钽 阻挡层 电偶腐蚀 透射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李祥州
供职机构:河北工业大学
研究主题:碱性抛光液 阻挡层 CMP 电偶腐蚀 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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