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7 条 记 录,以下是 1-7
张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 晶体管 存储器 电极 隧穿
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施煜
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 高K栅介质 密度泛函理论 砷化镓 C-V特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛原
供职机构:复旦大学
研究主题:SIOC 原子层淀积 高K栅介质 密度函数理论 密度泛函理论
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刘晗
供职机构:复旦大学
研究主题:纳米线 原子层淀积 存储器 MOS晶体管 半导体纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐赛生
供职机构:复旦大学
研究主题:增强型 铜互连 脉冲电镀 势垒层 阴极
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