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陈晟

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  • 9个北京市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
张国炳
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王煜
供职机构：北京大学
研究主题：应力控制 MEMS SIC 抗腐蚀 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
边伟
供职机构：北京大学
研究主题：场效应器件 背栅 多晶硅栅 金属诱导 纳米集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志宏
供职机构：北京大学
研究主题：电极 微针 针尖 微机电系统 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭辉
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS SIC 谐振器 碳化硅 操作系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志宏
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李素兰
供职机构：北京大学
研究主题：残余应力 SIC薄膜 压强 反应离子刻蚀 功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭辉
供职机构：北京大学
研究主题：微机电系统 测地线 MEMS TEICHMULLER空间 可积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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