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施志贵

作品数：52 被引量：65H指数：6
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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张照云
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏伟
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑英彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 太赫兹 滤波器 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何晓平
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度计 加速度计 灵敏度 谐振 刚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王亚军
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：折叠波导 折叠波导行波管 太赫兹 行波管 折叠波导慢波结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张茜梅
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖慧
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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