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李金鹏

作品数：4 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院研究生院更多>>
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相关领域：电子电信航空宇航科学技术机械工程自动化与计算机技术更多>>

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共 8 条 记 录，以下是 1-8
张颖
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱清
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王育才
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：悬臂梁 块结构 各向异性腐蚀 微加速度计 微机械加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宓斌玮
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：真空封装 微机械陀螺 悬臂梁 块结构 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宓彬伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：惯性器件 读出电路设计 相关双采样 微电子机械系统 电荷转移
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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