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杜先锋
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北京大学
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合作作者
李婷
北京大学微电子学研究院
张大成
北京大学微电子学研究院
郝一龙
北京大学
王阳元
北京大学
王颖
北京大学
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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王颖
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 梁结构 访谈录 键合
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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王小宝
供职机构:北京大学微电子学研究院
研究主题:悬臂梁 灵敏度 特性分析 阵列式 噪声
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余宏斌
供职机构:北京大学
研究主题:变形镜 阳极键合 背腔 硅片 刻蚀
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于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 MEMS
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阮勇
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 继电器 刻蚀 微机电系统 微电子机械系统
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王玮
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 芯片 场效应晶体管 硅基
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