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罗桂海
作品数:
20
被引量:13
H指数:2
供职机构:
清华大学研究院
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
理学
自动化与计算机技术
建筑科学
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合作作者
潘国顺
清华大学研究院
陈高攀
清华大学研究院
周艳
清华大学研究院
罗海梅
清华大学研究院
顾忠华
清华大学
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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陈高攀
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
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所获资助
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罗海梅
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 衬底材料 超光滑表面 氧化性
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供职机构
所获资助
研究领域
周艳
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
发表作品
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顾忠华
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 硅晶片 二氧化硅溶胶 磨粒
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梁晓璐
供职机构:清华大学研究院
研究主题:膜电极 膜电极组件 转印 质子交换膜燃料电池 催化层
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邹春莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
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徐莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:非贵金属 化学机械抛光 4H-SIC 晶片 非铂催化剂
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