2025年1月25日
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薛忠营
作品数:
199
被引量:170
H指数:4
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
上海市自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
理学
金属学及工艺
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合作作者
张苗
中国科学院上海微系统与信息技术...
狄增峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈达
兰州大学物理科学与技术学院
王曦
中国科学院研究生院
王刚
中国科学院上海微系统与信息技术...
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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所获资助
研究领域
狄增峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
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陈达
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 离子注入 绝缘体 单晶薄膜
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王刚
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
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母志强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜 图形化
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魏星
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
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郑晓虎
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 绝缘衬底 长腔
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戴家赟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 键合 半导体材料 绝缘衬底
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所获资助
研究领域
郭庆磊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘体 锗 键合 图形化 石墨烯
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