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卢建国

作品数：11 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家攀登计划更多>>
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合作作者

领域

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地区

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共 14 条 记 录，以下是 1-10
沈德新
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：定子 热电堆 特性分析 微电机 压电超声马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院广州能源研究所
研究主题：微机械 硅 基片 热电转换效率 片状
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张保安
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空穴 多晶硅薄膜 金属薄膜 金属 结点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董荣康
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空穴 多晶硅薄膜 金属薄膜 金属 结点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨艺榕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
隋兆文
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 传感器 半导体集成电路 红外探测器 红外地平仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄玢
供职机构：北京控制工程研究所
研究主题：传感器 硅 红外地平仪 热堆 双列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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